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Mühlbauer Vision Inspection

Inspektionswerkzeuge für höchste Qualitätskontrolle in der Chipherstellung


Die Qualitätsstandards der Halbleiterindustrie erfordern eine hohe Präzision und eine 100-Prozent-Inspektion in einem schnell laufenden Prozess. Besonders die Backend-Prozesse in der WLCSP-Produktion unterliegen mehr und mehr der Null-Fehler-Politik. Mühlbauer bietet eine breite Palette von Vision-Inspektionsfunktionen, um höchste Qualität zu liefern.

 

Mühlbauer SIDEWALL Inspektion

Mühlbauer freut sich, die Einführung einer weltweit einzigartigen visuellen Inspektionsfunktion namens SIDEWALL-Inspektion bekannt geben zu können. Dabei werden alle vier Seitenwände eines Chips inspiziert, was zu einem noch nie dagewesenen Grad an täglicher Nettoleistung führt. Die neue Seitenwandinspektion ist für Mühlbauers Die-Sortiersysteme DS 15000 und DS 20000 sowie DS Variation verfügbar. Defekte bis zu 10µm können erkannt werden. Feld-Upgrades für bestehende DS 15000 Systeme können auf Anfrage ebenfalls angeboten werden.


 

NEU: Infrarot-Inspektion

Infrarotlicht in der Seitenwand / Rückseiteninspektion

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Sichtbares Licht: sieht nur Oberfläche

Infrarot Licht: Sieht interne Defekte


 

Wafer-Inspektion

(Inspektion der Die-Oberseite)

  • Wafer-Ausrichtung
  • Die Verifizierung
  • Die Vorderseite Inspektion
  • Sägelinien-Inspektion

Die-on-Fly-Inspektion

  • Die-Verifizierung
  • Inspektion des Die

Pre-Place-Inspektion

(Taschenposition)

  • Platzierungs-Inspektion (vor der Die-Platzierung)
  • Verifizierung des Die in der Tasche
  • Inspektion der Die-Rückseite

Post-Place-Inspektion

(Die-Rrückseiten-Inspektion)

  • Place-Inspektion (vor dem Platzieren des Die)
  • Verifizierung des Die in der Tasche
  • Inspektion der Die-Rückseite

Inspektion nach dem Versiegeln

  • Position des Abdeckbandes (Transportlöcher)
  • Überprüfung der leeren Tasche
  • Die-Ausrichtung
  • Inspektion des Die